Bild 1 von 1
Wachstum von hochpermittive
Artikelzustand:
7 verfügbar
Preis:
US $128,96
Ca.CHF 116,86
- Sofort-KaufenWachstum von hochpermittiven Dielektrika durch Hochdrucksputter aus Metalli
Versand:
Standort: Fairfield, Ohio, USA
Lieferung:
Lieferung zwischen Fr, 31. Mai und Di, 11. Jun nach 43230 bei heutigem Zahlungseingang
Rücknahmen:
Zahlungen:
Sicher einkaufen
Angaben zum Verkäufer
- 98,2% positive Bewertungen
Angemeldet als gewerblicher Verkäufer
Der Verkäufer ist für dieses Angebot verantwortlich.
eBay-Artikelnr.:395167168659
Artikelmerkmale
- Artikelzustand
- ISBN-13
- 9783319882840
- Type
- NA
- Publication Name
- NA
- ISBN
- 9783319882840
- Book Title
- Growth of High Permittivity Dielectrics by High Pressure Sputtering from Metallic Targets
- Item Length
- 6.2in
- Publisher
- Springer International Publishing A&G
- Publication Year
- 2018
- Format
- Trade Paperback
- Language
- English
- Item Height
- 0.4in
- Genre
- Technology & Engineering, Science
- Topic
- Nanoscience, Physics / Condensed Matter, Nanotechnology & Mems, Electronics / Transistors
- Item Width
- 9.2in
- Item Weight
- 103.5 Oz
- Number of Pages
- Xxiii, 164 Pages
Über dieses Produkt
Product Information
This thesis describes the fabrication of metal-insulator-semiconductor (MIS) structures using very high permittivity dielectrics (based on rare earths) grown by high-pressure sputtering from metallic targets. It demonstrates the possibility of depositing high permittivity materials (GdScO3) by means of high pressure sputtering from metallic targets using in situ plasma oxidation on Si and indium phosphate (InP) substrates. The advantage of this system is the high working pressure, which causes the particles to undergo multiple collisions and become thermalized before reaching the substrate in a pure diffusion process, thus protecting the semiconductor surface from damage. This work presents a unique fabrication using metallic targets and involving a two-step deposition process: a thin metallic film is sputtered in an Ar atmosphere and this film is then plasma oxidized in situ. It also demonstrates the fabrication of GdScO3 on Si with a permittivity value above 30 from metallicGd and Sc targets. Since co-sputtering was not possible, a nanolaminate of these materials was deposited and annealed. The electrical properties of these devices show that the material is highly interesting from a microelectronic integration standpoint.
Product Identifiers
Publisher
Springer International Publishing A&G
ISBN-10
3319882848
ISBN-13
9783319882840
eBay Product ID (ePID)
6038921437
Product Key Features
Book Title
Growth of High Permittivity Dielectrics by High Pressure Sputtering from Metallic Targets
Format
Trade Paperback
Language
English
Topic
Nanoscience, Physics / Condensed Matter, Nanotechnology & Mems, Electronics / Transistors
Publication Year
2018
Genre
Technology & Engineering, Science
Number of Pages
Xxiii, 164 Pages
Dimensions
Item Length
6.2in
Item Height
0.4in
Item Width
9.2in
Item Weight
103.5 Oz
Additional Product Features
Number of Volumes
1 Vol.
Lc Classification Number
Qc173.458.S87
Table of Content
Introduction.- Fabrication Techniques.- Characterization Techniques.- Thermal Oxidation of Gd2o3.- Plasma Oxidation of Gd2o3 and Sc2o3.- Gadolinium Scandate.- Interface Scavenging.- Gd2o3 on Inp Substrates.- Conclusions and Future Work.
Copyright Date
2017
Intended Audience
Trade
Series
Springer Theses Ser.
Illustrated
Yes
Artikelbeschreibung des Verkäufers
Der Verkäufer ist für dieses Angebot verantwortlich.
eBay-Artikelnr.:395167168659
Verpackung und Versand
Artikelstandort:
Fairfield, Ohio, USA
Versand nach:
Afghanistan, Albanien, Algerien, Andorra, Angola, Anguilla, Antigua und Barbuda, Argentinien, Armenien, Aruba, Aserbaidschan, Australien, Bahamas, Bahrain, Bangladesch, Belgien, Belize, Benin, Bermuda, Bhutan, Bolivien, Bosnien und Herzegowina, Botsuana, Brasilien, Britische Jungferninseln, Brunei Darussalam, Bulgarien, Burkina Faso, Burundi, Chile, China, Cookinseln, Costa Rica, Côte d'Ivoire (Elfenbeinküste), Demokratische Republik Kongo, Deutschland, Dominica, Dominikanische Republik, Dschibuti, Dänemark, Ecuador, El Salvador, Eritrea, Estland, Falklandinseln (Malwinen), Fidschi, Finnland, Frankreich, Gabun, Gambia, Georgien, Ghana, Gibraltar, Grenada, Griechenland, Grönland, Guatemala, Guernsey, Guinea, Guinea-Bissau, Guyana, Haiti, Honduras, Hongkong, Indien, Indonesien, Irak, Irland, Island, Israel, Italien, Jamaika, Japan, Jemen, Jersey, Jordanien, Kaimaninseln, Kambodscha, Kamerun, Kanada, Kapverdische Inseln, Kasachstan, Katar, Kenia, Kirgisistan, Kiribati, Kolumbien, Komoren, Kuwait, Laos, Lesotho, Lettland, Libanon, Liberia, Liechtenstein, Litauen, Luxemburg, Macau, Madagaskar, Malawi, Malaysia, Malediven, Mali, Malta, Marokko, Mauretanien, Mauritius, Mayotte, Mazedonien, Mexiko, Moldawien, Monaco, Mongolei, Montenegro, Montserrat, Mosambik, Namibia, Nauru, Nepal, Neuseeland, Nicaragua, Niederlande, Niederländische Antillen, Niger, Nigeria, Niue, Norwegen, Oman, Pakistan, Paraguay, Peru, Philippinen, Polen, Portugal, Republik Kongo, Republik Kroatien, Ruanda, Rumänien, Saint-Pierre und Miquelon, Salomonen, Sambia, San Marino, Saudi-Arabien, Schweden, Schweiz, Senegal, Serbien, Seychellen, Sierra Leone, Simbabwe, Singapur, Slowakei, Slowenien, Somalia, Spanien, Sri Lanka, St. Helena, St. Kitts und Nevis, St. Lucia, St. Vincent und die Grenadinen, Suriname, Svalbard und Jan Mayen, Swasiland, Südafrika, Südkorea, Tadschikistan, Taiwan, Tansania, Thailand, Togo, Tonga, Trinidad und Tobago, Tschad, Tschechische Republik, Tunesien, Turkmenistan, Turks- und Caicosinseln, Tuvalu, Türkei, Uganda, Ungarn, Uruguay, Usbekistan, Vanuatu, Vatikan, Vereinigte Arabische Emirate, Vereinigtes Königreich, Vietnam, Wallis und Futuna, Weltweit, Westsahara, Zentralafrikanische Republik, Zypern, Ägypten, Äquatorialguinea, Äthiopien, Österreich
Ausgeschlossen:
APO/FPO, Alaska/Hawaii, Barbados, Belarus, Französisch-Guayana, Französisch-Polynesien, Guadeloupe, Libyen, Martinique, Neukaledonien, Panama, Papua-Neuguinea, Russische Föderation, Réunion, Samoa (Westsamoa), US-Protektorate, Ukraine, Venezuela
| Verpackung und Versand | Jeder zusätzliche Artikel | Nach | Service | Lieferung*Siehe Lieferhinweise |
|---|---|---|---|---|
| Kostenloser Versand | Kostenlos | USA | Economy Shipping | Lieferung zwischen Fr, 31. Mai und Di, 11. Jun nach 43230 |
| Bearbeitungszeit |
|---|
| Der Verkäufer verschickt den Artikel innerhalb von 10 Werktagen nach Zahlungseingang. |
| Steuern |
|---|
| An der Kasse fallen ggf. Steuern an. Mehr erfahrenMehr erfahren zu Steuern auf eBay-Käufe. |
Mehrwertsteuer für diesen Artikel #395167168659
Mehrwertsteuer für diesen Artikel #395167168659
Der Verkäufer berechnet Mehrwertsteuer für Artikel, die in die folgenden Bundesstaaten verschickt werden:
| Bundesstaat | Steuersatz für Sales Tax |
|---|
Rücknahmebedingungen
| Frist für Kontaktaufnahme mit dem Verkäufer nach Erhalt Artikels: | Rückerstattung erfolgt in folgender Form: | Rücksendung |
|---|---|---|
| 30 Tage | Geld zurück | Käufer zahlt Rückversand |
Der Käufer trägt die Rücksendekosten.
| Rücknahmebedingungen im Detail |
|---|
| Rücknahme akzeptiert |
Zahlungsdaten
Zahlungsmethoden
Beliebte Kategorien in diesem Shop
Angemeldet als gewerblicher Verkäufer
Verkäuferbewertungen (1'022'884)
4***m (413)- Bewertung vom Käufer.
Letzter Monat
Bestätigter Kauf
Fast delivery, exactly as described
o***r (469)- Bewertung vom Käufer.
Letzter Monat
Bestätigter Kauf
Great buy. Item just as described. Fast shipping. I am. Very happy with my purchase.
2***b (16)- Bewertung vom Käufer.
Letzter Monat
Bestätigter Kauf
The description should have included that it is a mini hardcover - had I known I would have looked for a full size book.
Noch mehr entdecken:
- Shades-of-Grey-Belletristik - Bücher,
- Deutsche Bücher Shades-of-Grey-Belletristik,
- Shades-of-Grey-Taschenbuch - Belletristik-Bücher,
- El-James-Shades-of - Grey-Belletristik-Bücher,
- Masters of the Universe Jugendliche Hörbücher und Hörspiele,
- Masters of the Universe Jugendliche Hörbücher und Hörspiele,
- Erwachsene Masters of the Universe Hörbücher und Hörspiele auf Deutsch,
- Masters-of-the-Universe - Europa-Editions Hörbücher und Hörspiele,
- Masters of the Universe Buchreihe Hörbücher und Hörspiele auf Deutsch,
- Ungekürzte Masters of the Universe Buchreihe Hörbücher und Hörspiele