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Glühentladungs prozesse von Chapman; Chapma
by Chapman; Chapma | HC | Good
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- Gut
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- Binding
- Hardcover
- Weight
- 1 lbs
- Product Group
- Book
- IsTextBook
- Yes
- ISBN
- 9780471078289
- Publication Year
- 1980
- Type
- Textbook
- Format
- Hardcover
- Language
- English
- Publication Name
- Glow Discharge Processes : Sputtering and Plasma Etching
- Item Height
- 1.3in
- Item Length
- 9.5in
- Publisher
- Wiley & Sons, Incorporated, John
- Item Width
- 6.4in
- Item Weight
- 30 Oz
- Number of Pages
- 432 Pages
Über dieses Produkt
Product Information
Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.
Product Identifiers
Publisher
Wiley & Sons, Incorporated, John
ISBN-10
047107828x
ISBN-13
9780471078289
eBay Product ID (ePID)
6038279070
Product Key Features
Publication Name
Glow Discharge Processes : Sputtering and Plasma Etching
Format
Hardcover
Language
English
Publication Year
1980
Type
Textbook
Number of Pages
432 Pages
Dimensions
Item Length
9.5in
Item Height
1.3in
Item Width
6.4in
Item Weight
30 Oz
Additional Product Features
Lc Classification Number
Qc711.8.G5
Edition Number
1
Table of Content
Gases. Gas Phase Collision Processes. Plasmas. DC Glow Discharges. RF Discharges. Sputtering. Plasma Etching. Appendices. Index.
Copyright Date
1980
Topic
Physics / Electromagnetism, Aeronautics & Astronautics
Lccn
80-017047
Dewey Decimal
537.5/2
Intended Audience
Scholarly & Professional
Dewey Edition
19
Illustrated
Yes
Genre
Technology & Engineering, Science
Artikelbeschreibung des Verkäufers
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Ausgeschlossen:
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